Sintesis dan Karakterisasi Sifat Optik Material Feroelektrik Barium Zirkonium Titanat (BaZr0,5Ti0,5O3) dengan Variasi Suhu Kalsinasi

Abstrak

Dalam penelitian ini, film tipis material feroelektrik Barium Zirkonium Titanat (BaZr_0,5Ti_0,5O₃) disintesis dan pengaruh variasi suhu annealing terhadap sifat optiknya dipelajari. Film tipis BaZr_0,5Ti_0,5O₃ ditumbuhkan di atas substrat Silikon (Si (100)) menggunakan metode Chemical Solution Deposition (CSD) dengan bantuan perangkat spin coater. Film tipis yang telah dibuat kemudian di-annealing pada tiga suhu berbeda (750 ^oC, 800 ^oC dan 850 ^oC). Karakterisasi sifat optik dari film tipis yang telah dibuat dilakukan menggunakan Spektrometer Ultraviolet-Visible (UV-Vis) Ocean Optics USB4000. Hasil karakterisasi menunjukkan bahwa film tipis BaZr_0,5Ti_0,5O₃ yang dibuat memiliki nilai reflektansi yang tinggi pada panjang gelombang cahaya tampak dan nilai koefisien absorbansi yang tinggi pada panjang gelombang cahaya ultraviolet (UV). Nilai bandgap pada masing-masing film tipis BaZr_0,5Ti_0,5O₃ dengan suhu annealing 750 ^oC, 800 ^oC dan 850 ^oC adalah 3,04 eV, 3,07 eV dan 3,22 eV. Semakin tinggi suhu annealing maka semakin tinggi nilai bandgap yang dihasilkan. Dari hasil yang diperoleh, terlihat bahwa film tipis BaZr_0,5Ti_0,5O₃ yang dihasilkan memiliki sifat semikonduktor dan berpotensi digunakan sebagai sensor atau komponen elektronik yang bekerja memanfaatkan energi pada panjang gelombang cahaya ultraviolet.